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华海清科公司新闻

发布时间:2025-07-31 00:15:37  点击量:

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  ·华海清科新注册《Universal300-FS CMP设备上位机系统V1.0》项目的软件著作权

  ·华海清科获得发明专利授权:“用于金属CMP的晶圆监测方法、CMP设备、计算机存储介质”

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  ·华海清科(688120.SH):清津厚德及清津立德共计减持1.0829%股份

  ·华海清科获得发明专利授权:“金属膜厚在线测量补偿方法、膜厚传感器和设备”

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  ·华海清科获得发明专利授权:“一种用于承载头的驱动组件及晶圆承载装置”

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